Pooljuhtide tööstuses nähakse sageli terminit sihtmaterjalide jaoks, mida saab jagada vahvlimaterjalideks ja pakkematerjalideks.Pakkematerjalidel on võrreldes vahvlite valmistamise materjalidega suhteliselt madalad tehnilised tõkked.Vahvlite tootmisprotsess hõlmab peamiselt 7 tüüpi pooljuhtmaterjale ja kemikaale, sealhulgas üht tüüpi pihustavat sihtmaterjali.Mis on siis sihtmaterjal?Miks on sihtmaterjal nii oluline?Täna räägime sellest, mis on sihtmaterjal!
Mis on sihtmaterjal?
Lihtsamalt öeldes on sihtmaterjal sihtmaterjal, mida pommitavad suure kiirusega laetud osakesed.Erinevate sihtmaterjalide (nagu alumiinium, vask, roostevaba teras, titaan, nikli sihtmärgid jne) väljavahetamisega on võimalik saada erinevaid kilesüsteeme (näiteks ülikõvad, kulumiskindlad, korrosioonivastased sulamist kiled jne).
Praegu võib (puhtusastmega) pihustamise sihtmaterjalid jagada järgmisteks osadeks:
1) Metallist sihtmärgid (puhas metallalumiinium, titaan, vask, tantaal jne)
2) Sulami sihtmärgid (nikli kroomi sulam, nikli koobalti sulam jne)
3) Keraamiliste ühendite sihtmärgid (oksiidid, silitsiidid, karbiidid, sulfiidid jne).
Erinevate lülitite järgi võib selle jagada: pikaks sihikuks, ruudukujuliseks ja ringikujuliseks sihtmärgiks.
Erinevate rakendusvaldkondade järgi võib selle jagada: pooljuhtkiibi sihtmärgid, lameekraani sihtmärgid, päikesepatarei sihtmärgid, teabesalvestuse sihtmärgid, modifitseeritud sihtmärgid, elektrooniliste seadmete sihtmärgid ja muud sihtmärgid.
Seda vaadates oleksite pidanud saama arusaamise kõrge puhtusastmega pihustusobjektidest, aga ka metallsihtmärkides kasutatavast alumiiniumist, titaanist, vasest ja tantaalist.Pooljuhtplaatide valmistamisel on 200 mm (8 tolli) ja väiksemate vahvlite valmistamisel tavaliselt põhiliseks meetodiks alumiiniumprotsess ning kasutatud materjalid on peamiselt alumiinium- ja titaanelemendid.300 mm (12 tolli) vahvlite tootmine, kasutades enamasti täiustatud vasest ühendustehnoloogiat, kasutades peamiselt vase ja tantaali sihtmärke.
Igaüks peaks aru saama, mis on sihtmaterjal.Üldiselt suureneb kiibi rakenduste ja kiibituru nõudluse tõttu kindlasti nõudlus nelja peamise õhukese kile metallmaterjali, nimelt alumiiniumi, titaani, tantaali ja vase järele.Ja praegu pole ühtegi teist lahendust, mis neid nelja õhukese kilega metallmaterjali asendaks.
Postitusaeg: juuli-06-2023