1, pritsimise ettevalmistamine
Väga oluline on hoida vaakumkamber, eriti pritsimissüsteem, puhas.Kõik määrdeõli, tolmu ja eelneva kattekihi jäägid koguvad kokku veeauru ja muid saasteaineid, mis mõjutavad otseselt vaakumi taset ja suurendavad kile moodustumise ebaõnnestumise võimalust.Lühis või sihtkaare, kare kilepind ja liigne keemiliste lisandite sisaldus on sageli põhjustatud ebapuhast pihustuskambrist, pihustuspüstolist ja sihtmärgist.Katte koostisomadustest kinnipidamiseks on vaja pihustusgaasi (argoon või hapnik) puhastada ja kuivatada.Pärast substraadi paigaldamist pihustuskambrisse tuleb protsessi jaoks vajaliku vaakumi saavutamiseks õhk välja tõmmata.Samuti tuleb puhtana hoida pimedas olev varjestuskate, õõnsuse sein ja külgnev pind.Vaakumkambri puhastamisel soovitame tolmuste osade töötlemiseks kasutada klaaskuulpuhastust koos suruõhuga, et eemaldada kambri ümbert varajased pihustusjäägid ning seejärel vaikselt poleerida välispind alumiiniumoksiidiga immutatud liivapaberiga.Pärast marlipaberi poleerimist puhastatakse see alkoholi, atsetooni ja deioniseeritud veega.Üheskoos pooldab see tööstusliku tolmuimeja kasutamist abipuhastuseks.Gaozhani metallist toodetud sihtmärgid on pakitud vaakumsuletud kilekottidesse,
Sisseehitatud niiskuskindel aine.Sihiku kasutamisel ärge puudutage sihtmärki otse käega.Märkus: sihtmärgi kasutamisel kandke puhtaid ja ebemevabasid hoolduskindaid.Ärge kunagi puudutage sihtmärki otse kätega
2、 Sihtmärgi puhastamine
Sihtmärgi puhastamise eesmärk on eemaldada sihtmärgi pinnal esinev tolm või mustus.
Metallist sihtmärki saab puhastada neljas etapis,
Esimene samm on puhastada atsetooniga niisutatud ebemevaba lapiga;
Teine samm on sarnane esimesele, alkoholiga puhastamine;
3. samm: puhastage deioniseeritud veega.Pärast deioniseeritud veega pesemist asetage märklaud ahju ja kuivatage 30 minutit temperatuuril 100 ℃.
Oksiid- ja keraamilisi sihtmärke tuleb puhastada ebemevaba lapiga.
Neljas samm on pärast tolmuse ala eemaldamist pesta sihtmärki kõrge rõhu ja madala veegaasiga argooniga, et eemaldada kõik lisandiosakesed, mis võivad pihustussüsteemis kaare moodustada.
3、 Sihtseade
Sihtmärgi paigaldamise protsessis on Z olulised ettevaatusabinõud tagada hea soojusjuhtivusühendus sihtmärgi ja pihustuspüstoli jahutusseina vahel.Kui jahutusanni kõverus on tõsine või tagaplaadi kõverus on tõsine, siis sihtseade praguneb või paindub ning soojusjuhtivus tagumisest sihtmärgist sihtmärgini on oluliselt mõjutatud, mille tulemuseks on soojuse hajumise tõrge. pihustusprotsessis ja sihtmärk puruneb või läheb mööda
Soojusjuhtivuse tagamiseks võib katoodi jahutusseina ja sihtmärgi vahele polsterdada grafiitpaberi kihi.Pöörake tähelepanu sellele, et hoolikalt kontrollida ja teha selgeks kasutatava pihustuspüstoli jahutusseina tasapind, et O-rõngas oleks alati paigas.
Kuna kasutatud jahutusvee puhtus ja seadmete töö käigus tekkida võiv tolm ladestub katoodjahutusveepaaki, on vaja katoodi jahutusveepaaki sihtmärgi paigaldamisel kontrollida ja puhastada, et tagada sujuv töö. jahutusvee ringlus ning et sisse- ja väljalaskeavad ei oleks ummistunud.
Mõnel katoodil on anoodiga ette nähtud väike ruum, nii et sihtmärgi paigaldamisel tuleb jälgida, et katoodi ja anoodi vahel ei oleks puudutust ega juhti, vastasel juhul tekib lühis.
Sihtmärgi õige kasutamise kohta leiate teavet seadme kasutusjuhendist.Kui kasutusjuhendis sellist teavet pole, proovige seadet installida vastavalt Gaozhan metalli esitatud asjakohastele soovitustele.Sihtseadme pingutamisel pingutage esmalt üks polt käsitsi ja seejärel teine polt diagonaalil käsitsi.Korrake seda, kuni kõik seadme poldid on pingutatud, ja seejärel pingutage millegagi.
4、 Lühise ja tiheduse kontroll
Pärast sihtseadme valmimist on vaja kontrollida kogu katoodi lühist ja tihedust,
Katoodis lühise olemasolu tehakse kindlaks takistusmõõturi abil
Ridade diskrimineerimine.Pärast kinnitamist, et katoodil pole lühist, saab läbi viia lekke tuvastamise ja vee lekke kinnitamiseks katoodile juhtida vett.
5、 Siht-eelne pihustus
Sihtmärgi eelpihustamine toetab puhast argooni pihustamist, mis võib sihtmärgi pinda puhastada.Kui sihtmärk on eelnevalt pihustatud, soovitatakse aeglaselt suurendada pihustusvõimsust ja keraamilise sihtmärgi võimsuse suurenemise kiirus on 1,5 WH / cm2.Metallist sihikul võib pihustuseelne kiirus olla suurem kui keraamilisel sihtmärgil ja mõistlik võimsuse suurendamise kiirus on 1,5 WH / cm2.
Eelpihustamise protsessis peame kontrollima sihtmärgi kaarust.Eelpritsimise aeg on tavaliselt umbes 10 minutit.Kui kaarnähtust pole, suurendage pidevalt pihustusvõimsust
Määratud võimsusele.Kogemuste kohaselt on metallsihiku vastuvõetav Z kõrge pihustusjõud
25 vatti / cm2, 10 vatti / cm2 keraamilise sihtmärgi jaoks.Vaadake kasutaja süsteemi kasutusjuhendist pihustamise ajal vaakumkambri rõhu seadistusaluseid ja kogemusi.Üldiselt tuleks tagada, et vee temperatuur jahutusvee väljalaskeava juures oleks madalam kui 35 ℃, kuid Z on oluline tagada, et jahutusvee tsirkulatsioonisüsteem saaks tõhusalt töötada.
Ülejahutusvee kiire tsirkulatsioon viib soojuse ära, mis on oluline garantii pideva suure võimsusega pihustamise tagamiseks.Metallist sihtmärkide puhul soovitatakse üldiselt jahutusvee voolu olla
20 lpm veesurve on umbes 5gmp;Keraamiliste sihtmärkide puhul soovitatakse üldiselt, et veevool oleks 30 lpm ja vee rõhk umbes 9 gmp
6、 Sihthooldus
Vältimaks pritsimisprotsessis ebapuhast õõnsust põhjustatud lühiseid ja kaare tekkimist, on vaja etapiviisiliselt eemaldada pihustusraja keskele ja mõlemale poole kogunenud prits,
See aitab kasutajatel ka pidevalt pihustada suure võimsustihedusega z
7、 Sihtmälu
Gaozhan metalli pakutavad sihtmärgid on pakendatud kahekihilistesse vaakumplastkottidesse.Soovitame, et kasutajad hoiaksid sihtmärke, olgu need siis metallist või keraamilised, vaakumpakendis.Eelkõige tuleb sidumismärke hoida vaakumtingimustes, et vältida sidekihi oksüdeerumise mõju sidumise kvaliteedile.Seoses metallist sihtmärkide pakendamisega soovitame Z pakendada puhastesse kilekottidesse
Postitusaeg: mai-13-2022