Pihustatud sihtmaterjalidel on kasutamise ajal kõrged nõuded mitte ainult puhtuse ja osakeste suuruse, vaid ka osakeste ühtlase suuruse suhtes.Need kõrged nõuded panevad meid pihustatavate sihtmaterjalide kasutamisel rohkem tähelepanu pöörama.
1. Pritsimise ettevalmistamine
Väga oluline on vaakumkambri, eriti pritsimissüsteemi puhtuse säilitamine.Määrdeained, tolm ja mis tahes eelnevate kattekihtide jäägid võivad koguda saasteaineid, nagu vesi, mõjutades otseselt vaakumit ja suurendades kile moodustumise ebaõnnestumise tõenäosust.Lühised, sihtmärgi kaar, karedad kilet moodustavad pinnad ja liigsed keemilised lisandid on tavaliselt põhjustatud ebapuhtatest pihustuskambritest, relvadest ja sihtmärkidest.
Katte koostisomaduste säilitamiseks peab pihustusgaas (argoon või hapnik) olema puhas ja kuiv.Pärast substraadi paigaldamist pihustuskambrisse tuleb protsessi jaoks vajaliku vaakumitaseme saavutamiseks õhku välja tõmmata.
2. Sihtmärgi puhastamine
Sihtmärgi puhastamise eesmärk on eemaldada sihtmärgi pinnalt tekkida võiv tolm või mustus.
3. Sihtpaigaldus
Kõige olulisem asi, millele sihtmaterjali paigaldamisel tähelepanu pöörata, on tagada hea termiline ühendus sihtmaterjali ja pihustuspüstoli jahutusseina vahel.Kui jahutussein või tagaplaat on tugevalt kõverdunud, võib see sihtmaterjali paigaldamisel põhjustada pragunemist või paindumist.Soojusülekanne tagumisest sihtmärgist sihtmaterjalile on oluliselt mõjutatud, mille tulemuseks on võimetus soojust pihustamise ajal hajutada, mis lõpuks põhjustab sihtmaterjali lõhenemist või kõrvalekaldumist.
4. Lühise ja tihendi kontroll
Pärast sihtmaterjali paigaldamist on vaja kontrollida kogu katoodi lühist ja tihendamist.Katoodi lühise kindlakstegemiseks on soovitatav kasutada oommeetrit ja megohmmeetrit.Pärast veendumist, et katood ei ole lühises, saab lekke tuvastamiseks teha vee süstimise teel katoodi, et teha kindlaks, kas leke on olemas.
5. Sihtmaterjali eelpihustamine
Sihtmaterjali eelpihustamiseks on soovitatav kasutada puhast argoongaasi, mis võib sihtmaterjali pinda puhastada.Soovitatav on sihtmaterjali eelpihustamise ajal aeglaselt suurendada pihustusvõimsust.Keraamilise sihtmaterjali võimsus
Postitusaeg: 19. oktoober 2023