Nioobiumi sihtmaterjale kasutatakse peamiselt optilise katmise, pinnatehniliste materjalide katmise ja pinnakattetööstuses, nagu kuumakindlus, korrosioonikindlus ja kõrge juhtivus.Optilise katmise valdkonnas kasutatakse seda peamiselt oftalmoloogilistes optilistes toodetes, läätsedes, täppisoptikas, suure pindalaga kattes, 3D-kattes ja muudes aspektides.
Niobiumist sihtmärkmaterjali nimetatakse tavaliselt paljaks sihtmärgiks.Esmalt keevitatakse see vasest tagumise sihtmärgi külge ja seejärel pihustatakse nioobiumi aatomite sadestamiseks oksiidide kujul substraadi materjalile, saavutades pihustuskatte.Koos nioobiumi sihtmärktehnoloogia ja -rakenduse pideva süvenemise ja laienemisega on suurenenud nõuded nioobiumi sihtmärgi mikrostruktuuri ühtlusele, mis avaldub peamiselt kolmes aspektis: tera suuruse täpsustamine, selge tekstuuri orientatsiooni puudumine ja paranenud keemiline puhtus.
Mikrostruktuuri ja omaduste ühtlane jaotus kogu sihtmärgis on nioobiumi sihtmaterjalide pihustusvõime tagamiseks ülioluline.Tööstuslikus tootmises esinevate nioobiumi sihtmärkide pinnal on tavaliselt korrapärased mustrid, mis mõjutavad oluliselt sihtmärkide pihustusvõimet.Kuidas saame eesmärkide kasutusmäära parandada?
Uuringutega on leitud, et lisandite sisaldus (sihtpuhtus) on oluline puhtust mõjutav tegur.Tooraine keemiline koostis on ebaühtlane ja lisandid on rikastatud.Pärast hilisemat valtsimist moodustuvad nioobiumist sihtmaterjali pinnale korrapärased mustrid;Toorainekomponentide ebaühtlase jaotumise ja lisanditega rikastamise kõrvaldamine võib vältida korrapäraste mustrite teket nioobiumi sihtmärkide pinnal.Tera suuruse ja struktuurilise koostise mõju sihtmaterjalile võib olla peaaegu tühine.
Postitusaeg: 19. juuni 2023