Nagu me kõik teame, on pihustusobjektidel palju spetsifikatsioone ja ka nende rakendusalad on väga laiad.Erinevates valdkondades tavaliselt kasutatavad sihtmärkide tüübid on samuti erinevad.Täna tutvume RSM-i toimetajaga pihustatavate sihtmärkide rakendusväljade klassifitseerimise kohta!
1、 Pihustamise sihtmärgi määratlus
Pihustamine on üks peamisi tehnoloogiaid õhukese kilematerjalide valmistamiseks.See kasutab iooniallika toodetud ioone kiirendamiseks ja vaakumis kogunemiseks, et moodustada kiire ioonkiir, pommitada tahket pinda ja ioonid vahetavad kineetilist energiat tahkel pinnal olevate aatomitega, nii et tahkel ainel olevad aatomid pind eraldatakse tahkest ja ladestatakse substraadi pinnale.Pommitatud tahke aine on toormaterjal pihustamise teel sadestatud õhukese kile valmistamiseks, mida nimetatakse pihustusobjektiks.
2、 Pihustamise sihtmärgi rakendusväljade klassifikatsioon
1. Pooljuhtide sihtmärk
(1) Ühised sihtmärgid: selles valdkonnas on levinud sihtmärgid kõrge sulamistemperatuuriga metallid, nagu tantaal / vask / titaan / alumiinium / kuld / nikkel.
(2) Kasutamine: kasutatakse peamiselt integraallülituste põhitoorainena.
(3) Toimivusnõuded: kõrged tehnilised nõuded puhtusele, suurusele, integratsioonile jne.
2. Lameekraani sihtmärk
(1) Ühised sihtmärgid: selle valdkonna levinumate sihtmärkide hulka kuuluvad alumiinium / vask / molübdeen / nikkel / nioobium / räni / kroom jne.
(2) Kasutamine: seda tüüpi sihtmärki kasutatakse enamasti erinevat tüüpi suure pindalaga filmide, näiteks telerite ja sülearvutite jaoks.
(3) Toimivusnõuded: kõrged nõuded puhtusele, suurele pindalale, ühtlusele jne.
3. Päikesepatarei sihtmaterjal
(1) Üldised sihtmärgid: alumiinium / vask / molübdeen / kroom / ITO / Ta ja muud päikesepatareide sihtmärgid.
(2) Kasutamine: kasutatakse peamiselt "aknakihis", tõkkekihis, elektroodis ja juhtivas kiles.
(3) Toimivusnõuded: kõrged tehnilised nõuded ja lai kasutusala.
4. Teabe salvestamise sihtmärk
(1) Ühised sihtmärgid: koobalti / nikli / ferrosulami / kroomi / telluuri / seleeni ja muude teabe salvestamise materjalide ühised sihtmärgid.
(2) Kasutamine: seda tüüpi sihtmaterjali kasutatakse peamiselt optilise draivi ja optilise ketta magnetpea, keskmise kihi ja alumise kihi jaoks.
(3) Jõudlusnõuded: nõutav on suur salvestustihedus ja suur edastuskiirus.
5. Tööriista muutmise sihtmärk
(1) Ühised sihtmärgid: tavalised sihtmärgid, nagu tööriistadega modifitseeritud titaani/tsirkooniumi/kroomi alumiiniumsulam.
(2) Kasutamine: kasutatakse tavaliselt pinna tugevdamiseks.
(3) Toimivusnõuded: kõrged jõudlusnõuded ja pikk kasutusiga.
6. Elektroonikaseadmete sihid
(1) Ühised sihtmärgid: tavalised alumiiniumisulamist/silitsiidsihtmärgid elektroonikaseadmetele
(2) Eesmärk: kasutatakse tavaliselt õhukese kile takistite ja kondensaatorite jaoks.
(3) Toimivusnõuded: väike suurus, stabiilsus, madal takistuse temperatuuritegur
Postitusaeg: 27. juuli 2022