RSM tehniline konsultant jagab teiega silindriliste ja tasapinnaliste magnetroni pihustussihtmärkide eeliseid?Võrreldes teiste magnetroni pihustusobjektidega, säilitavad silindrilised ja tasapinnalised magnetroni pihustussihtmärgid ristkülikukujuliste tasapinnaliste sihtmärkide katte hea ühtluse eelised ja võivad sihtmärkide kasutamist maksimeerida kahel järgmisel viisil:
(1) Kui kaks rühma (neli) rõngakujulisi süvendeid sihtmärgi pinnal jõuavad teatud sügavusele, saab sihtsüdamikku (magnetosa) sihttoru suhtes pöörata 45 °, nii et sihttoru teised alad võib kasutada, mis ei ole roostetanud;
(2) Kui silindrilise ja tasapinnalise magnetroni pihustussihtmärgi sihtsüdamik on konstrueeritud pöörleva sihtmärgi südamikuna (sihtsüdamik pöörleb pihustamise ajal), saab sihtmärgi pinda ühtlaselt kiht-kihilt ilma süvenditeta pihustada.Sel ajal kasutatakse sihtmärki kõige tõhusamalt ja sihtmärgi kasutusmäär võib ulatuda 50% ~ 60% -ni. Kui sihtmaterjaliks on väärismetall, on sellel ilmselgelt suur tähtsus.
Kasutades magnetvälja otsa magnetvälja probleemi lahendamiseks pooluskingaga magneti põhimõtet koaksiaalses silindrilises magnetroni pihustussihtmärgis, saab ristkülikukujulise tasapinnalise sihtmärgi muuta silindriliseks ja tasapinnaliseks magnetroni pihustussihtmärgiks, sihtmärk võib maksimeerida sihtmärgi kasutusmäära. säilitades samal ajal ristkülikukujulise tasapinna katte hea ühtluse, et suurendada majanduslikku kasu.
Postitusaeg: juuli-04-2022